JKL PVD ආලේපන මූලික ක්රියාවලිය

(1) අයිතම පිරිසිදු කිරීම සහ පූර්ව ප්‍රතිකාර ඇතුළුව පූර්ව PVD ප්‍රතිකාරය.විශේෂිත පිරිසිදු කිරීමේ ක්රමවලට ඩිටර්ජන්ට් පිරිසිදු කිරීම, රසායනික ද්රාවණ පිරිසිදු කිරීම, අතිධ්වනික පිරිසිදු කිරීම සහ අයන බෝම්බ පිරිසිදු කිරීම ඇතුළත් වේ.
(2) රික්ත කුටීර පිරිසිදු කිරීම සහ සවිකිරීම්, සහ අයිතම සහ සවිකිරීම් ස්ථාපනය කිරීම, කොමිස් කිරීම සහ සම්බන්ධ කිරීම ඇතුළුව ඒවා උඳුන තුලට දමන්න.
(3) රික්ත කිරීම, සාමාන්‍යයෙන් 6.6Pa හෝ ඊට වැඩි ප්‍රමාණයකට පොම්ප කිරීම, රික්තක පොම්පය නඩත්තු කිරීමට සහ විසරණ පොම්පය රත් කිරීමට පෙර විසරණ පොම්පයේ ඉදිරිපස විවෘත කරන්න.පෙර උනුසුම් කිරීම ප්රමාණවත් වූ පසු, ඉහළ කපාටය විවෘත කර 6 x 10-3 Pa අර්ධ පහළ රික්තකයකට විසරණ පොම්පයක් සමඟ පොම්ප කරනු ලැබේ.
(4) පිළිස්සීම, අවශ්‍ය උෂ්ණත්වයට අයිතම පිළිස්සීම.
(5) අයන බෝම්බ හෙලීම, රික්තය සාමාන්‍යයෙන් 10 Pa සිට 10-1 Pa දක්වා වන අතර, අයන බෝම්බ හෙලීමේ වෝල්ටීයතාවය 200 V සිට 1 KV දක්වා සෘණ අධි වෝල්ටීයතාවයක් වන අතර ප්‍රහාරක කාලය විනාඩි 15 සිට 30 දක්වා වේ.
(6) පූර්ව දියවීම, ද්‍රව්‍ය පෙර උණු කිරීම සඳහා ධාරාව සකස් කිරීම, ප්ලේටින් පෙර උණු කිරීම සඳහා ධාරාව සකස් කිරීම සහ මිනිත්තු 1 ~ 2 ක් වායුව ඉවත් කිරීම.වාෂ්පීකරණ තැන්පත් වීම.වාෂ්පීකරණ ධාරාව අපේක්ෂිත තැන්පත් කිරීමේ කාලය අවසන් වන තෙක් අවශ්ය පරිදි සකස් කරනු ලැබේ.සිසිලනය, අයිතම රික්තක කුටියේ යම් උෂ්ණත්වයකට සිසිල් කරනු ලැබේ.
(7) අයිතම පිටතට ගත් පසු, රික්තක කුටිය වසා, රික්තකය l × l0-1Pa දක්වා ඉවත් කර, නඩත්තු පොම්පයට පෙර විසරණ පොම්පය අවසර ලත් උෂ්ණත්වයට සිසිල් කර සිසිලන ජලය නිවා දැමිය හැකිය.
 


පසු කාලය: සැප්-07-2021